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PCSS3100

超高精度，适应不同被测物：镜面、透明、半透明、膜层、深孔、内壁、多层玻璃

产品详情

型号参数

PCSS3100
控制器

PCSC3001/PCSC3002
参考距离(mm)

50
测量范围(mm)

±5
测量角度(°)

±13
光斑直径(μm)

Φ20
静态噪声(nm)

250
横向分辨率(μm)

10
线性误差(μm)

<±2
最小可测厚度

5%ofF.S
温度特性

0.03%ofF.S./℃

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